原有的机械真空泵普遍存在着工作介质返流的现象，这一现象会影响到产品的品质，让设备的维护变的艰难，但如果使用的是干式真空泵就不会出现这一现象，因此它在多个行业中推广开来。那么它具体都能够应用在哪些领域呢？小编通过下面的文章为大家介绍一下：
1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求；
4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等；
5、将干式真空泵用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵的应用是非常广泛的，但主要还是应于以上几个方面，并且都可以达到理想的使用效果。它的出现无疑为真空行业增添了一抹新的“靓丽风景”，相信凭借其良好的性能，在日后能够为更多的行业所采用。
